Inline sputterointijärjestelmä
-
Inline Magnetron Sputtering -järjestelmä
Inline Magnetron Sputtering -järjestelmä on eräänlainen tyhjiöohutkalvopinnoituslaitteisto, joka toimii eri tarkoituksiin.Sputterointilinjamme yleisimmät sovellukset, mukaan lukien:
Alumiinisten peilien valmistus
- ITO lasipinnoite
- Heijastamaton lasi
- Koristepinnoitteet ruostumattomalle teräkselle ja lasille
Tämä pinnoitusjärjestelmä soveltuu korkealuokkaisiin tyhjiöpinnoitussovelluksiin.Se tuottaa vakaan työsuorituskyvyn tyhjiöpinnoituskalvojen laadun parantamiseksi.
-
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line käyttää tyhjiömagnetronisputterointitekniikkaa ja epätasapainoista magnetronisputterointitekniikkaa korkealaatuisen floatlasin päällystämiseksi SO2/ITO-kerroksella.Perustuu kansainväliseen edistyneeseen ohjausjärjestelmään.Koko valmistusprosessi toimii automaattisesti ja jatkuvasti.
-
Alumiininen peilin sisäinen magneettiruiskutuslinja
Alumiini Mirror Inline Magnetron Sputtering Line on suunniteltu korkeaan tehoon lasipeilien valmistustarkoituksiin.Suuremman lasin päällystämiseksi ja herkän lasipaneelin hoitamiseksi, erityisesti suurikokoisille levyille, teemme yleensä vaakasuuntaisen sputterointilinjan.Se on jatkuva magnetronipinnoituslinja, jossa on etu- ja takakarkea pumppauskammio ja siirtymäkammion jälkeen, ennen ja jälkeen hienoa pumppauskammiota, puskurikammio, väripinnoitushuone.
Kohdesuunnittelu: sylinterimäiset magnetronisputterointikatodit ja/tai tasokatodit.
Virtalähde: virtalähde, jossa on suuritehoinen DC- tai MF-magnetronisputterointi
Käyttöjärjestelmä: rullakäyttö, taajuussäädettävä, induktiotyyppinen huoneen oven avausjärjestelmä.
Tyhjiöjärjestelmä: diffuusiopumppu (tai turbomolekyylipumppu) + juuripumppu + mekaaninen pumppu
