Tuotetiedot
Tuotetunnisteet
- Valmistuspohjalta yli 14 vuoden kokemuksella
- Räätälöity ratkaisu vastaamaan jokaisen erityisvaatimuksia
- Ainutlaatuinen kupariydin valokaaren haihduttamisesta paremman johtavuuden saavuttamiseksi
- Edistyksellinen muotoilu kaarihöyrystimille takaavat erinomaisen työskentelyn
- Laatikkotyyppi ja kompakti malli ovat saatavilla säästääksesi jalanjälkeä
- Hybridipinnoitusjärjestelmä on valintasi
- Helppokäyttöinen PLC-ohjausjärjestelmä
- Laadukkaat ja tunnettujen merkkien tyhjiöpumput ja tarvikkeet
- Kokonaisrakenne: Pysty etuovi, vaakasuora etuovi, taka-imunottojärjestelmä
- • Materiaalit: Ontelo on valmistettu korkealaatuisesta ruostumattomasta SUS304 teräksestä
- • Ionikaarilähde: Varustettu useilla kaarivirtalähteillä laitteen koon mukaan
- • Bias-virtalähde: Varustettu suuritehoisella yksivaiheisella pulssibias-virtalähteellä
- • Monikaaritaulut: Vakiovarusteena useita titaani- tai ruostumattomasta teräksestä valmistettuja maalitauluja
- • Pyörivä järjestelmä: Muuttuva taajuuden nopeussäätö, kierroksen ja pyörimisen yhdistelmä, ylempi voimansiirto tai alempi voimansiirto.
- • Tyhjiöjärjestelmä (koristepinnoituslaitteet): Diffuusiopumppu (valinnainen molekyylipumppu) + Roots-pumppu + mekaaniset pumput
- • Kaasun ohjaus: Monisuuntainen kaasun massavirran ohjausjärjestelmä
- •Lämmitysjärjestelmä: koristeellinen pinnoite150 ℃lämpötilan säätö PID säädettävissä ja säädettävissä
- • Älykäs ohjaus: PLC-älykäs ohjaus + HMI-täysvärinen kosketusliitäntä täysin automaattisen logiikkaohjauksen saavuttamiseksi
- • Hälytys ja suojaus: Hälytä epänormaaleissa olosuhteissa ja toteuta vastaavat suojatoimenpiteet.
- PVD-koneen kokoonpano:
- Vacuumkammio:
- Kaksikerroksinen tyhjiökammio lämmityksen eristämiseksi syntyy kaaripinnoitusprosessilla.Hyvin hitsattu tyhjiökammio ilman vuotopohjaa yli 10 vuoden tyhjiölaitteiden valmistuksessa.
- Katodit:
- Kupariydinkaarikatodit parempaan johtavuuteen valokaaripinnoitusprosessissa.Pisaraongelma on minimoitu erityisellä rakenteella ja virtalähteellä, joka on suunniteltu erityisesti kaaripinnoitukseen.
- Karuselli:
- Karuselli suunniteltu substraattien mukaan paremman pinnoitustuloksen saavuttamiseksi.
- Pumppausjärjestelmä
- Korkeatyhjiöpumput takaavat vakaan pumppauskyvyn ja pitävät korkean alipaineen tehokkaan.Sekä molekyylipumppu että diffuusiopumppu on saatavana valintasi mukaan.
- Virtalähteet
- Valitsemme luotettavien valmistajien virtalähteet, jotka varmistavat tarkan tehon, virran ja jännitteen korkealaatuisten PVD-pinnoitteiden saamiseksi.
- PLC-ohjausjärjestelmä:
- Täysin kosketettu paneeli, jossa on helppokäyttöinen valikko, englanninkielinen versio on saatavana.
- Yleiset reseptit voidaan tallentaa järjestelmään ja nopeaksi valinnaksi.
- Kaasun jakelujärjestelmä
- Erittäin tarkka kaasuvirtauksen säädin prosessikaasun ohjaamiseen PVD-pinnoituksen aikana.
Edellinen: PVD-tyhjiöpinnoituskatodinen kaaripinnoituskone leikkaustyökaluihin Seuraava: Toimiva katodikaaripinnoituskone