ARC-500:n pääominaisuuksia ovat nopeat sykliajat, helppokäyttöisyys ja käyttäjäystävällisyys edulliseen hintaan.Siinä on neljä tehokasta katodikaarihaihdutuskatodia.Se on ihanteellinen valinta asiakkaille, jotka haluavat päästä pinnoitusmaailmaan tai lisätä nopean pienivolyymin PVD-järjestelmän konekantaansa.
Käytetyt tekniikat:
Katodikaarihaihdutuskatodit
Edut:
Korkea tavoitekäyttö
Korkea kerrostumisnopeus
Nopea katodin vaihto
• Kokonaisrakenne: Pysty etuovi, vaakasuora etuovi, takana tyhjiöpumppujärjestelmä
• Materiaalit: Ontelo on valmistettu korkealaatuisesta ruostumattomasta SUS304 teräksestä
• Ionikaarilähde: Varustettu useilla kaarivirtalähteillä laitteen koon mukaan
• Bias-virtalähde: Varustettu suuritehoisella yksivaiheisella pulssibias-virtalähteellä
• Monikaaritaulut: Vakiovarusteena useita titaani- tai ruostumattomasta teräksestä valmistettuja maalitauluja
• Pyörivä järjestelmä: Muuttuva taajuuden nopeussäätö, kierroksen ja pyörimisen yhdistelmä, ylempi voimansiirto tai alempi voimansiirto.
• Tyhjiöjärjestelmä (koristepinnoituslaitteet): Diffuusiopumppu (valinnainen molekyylipumppu) + Roots-pumppu + mekaaninen pumppu
• Kaasun ohjaus: Monisuuntainen kaasun massavirran ohjausjärjestelmä
• Lämmitysjärjestelmä: koristepinnoite 150 ℃ lämpötilan säätö PID säädettävissä ja säädettävissä
• Älykäs ohjaus: PLC-älykäs ohjaus + HMI-täysvärinen kosketusliitäntä täysin automaattisen logiikkaohjauksen saavuttamiseksi
• Hälytys ja suojaus: Hälytä epänormaaleissa olosuhteissa ja toteuta vastaavat suojatoimenpiteet.
Max.kuorma: 100kg
4-6 erää/päivä
MODULAARISET KARUSELLIJÄRJESTELMÄT:
Kaksipyöräinen potkurikaruselli tai kolmikiertoinen vaihteistojärjestelmä
OHJELMISTO:
Yksinkertainen käyttö ja huolto
Ohjausjärjestelmä kosketusnäytöllä
Tietojen tallennus ja prosessiparametrien ja virtauksen reaaliaikainen näyttö
Manuaalinen ja automaattinen prosessinohjaus
KONEEN MITAT:
Jalanjälki [mm]: P2300 x L1600 x K1950