Inline Magnetron Sputtering -järjestelmä
Inline magnetronisputterointikone on pääasiassa DC (tai MF) magnetronisputterointipinnoite voidaan mukauttaa monenlaisiin kohteisiin, kuten: kupari, titaani, kromi, ruostumaton teräs, nikkeli ja muut metallimateriaalit, jotka voidaan pinnoittaa sputterointiprosessilla voi parantaa kalvon tarttuvuutta, toistettavuutta, tiheyttä, tasaisuutta ja muita ominaisuuksia.
- a.Perusominaisuudet ja parametrit
- b.vaakasuora viivarakenne voidaan toteuttaa samanaikaisesti pinnoitettuna toiselta puolelta
- c.tuotannon tehokkuus, nopeimmat nopeudet jopa 1 min/lyönti
- d.modulaarinen rakenne, helppo huoltaa
- e.pinnoitusprosessin kypsyys, korkea saanto
- f.DC-magnetronin sputterointikatodit voivat vaihdella asiakkaan vaatimusten mukaan
- g.tyhjiöjärjestelmä koostuu mekaanisesta pumpusta, Roots-pumpuista, diffuusiopumpuista (molekyylipumppu) Koostumus
- h.Linjan rungon koko voi vaihdella asiakkaan vaatimusten mukaan
- 1) Tyhjiökammion runkomateriaalit SUS304, kiillotus tyhjiökammion seinän käsittely, ulkoseinä spray kiillotus helmiä käsittelyyn.
- 2) Käyttämällä itsenäistä sulkuventtiiliä tyhjiökammion ja läppäventtiilin välillä, voidaan tehokkaasti katkaista ja vakauttaa prosessikaasu.Tällä hetkellä yrityksemme käyttää läppäventtiilin suunnittelua, se tiivistää paremmin, kestävämpi kuin nykyinen kotimainen yhteinen läppäventtiili.
- 3) Vaihteisto käyttää magneettiohjainta, suojaa aseman vakautta.VVVF-moottorikäyttöä käyttävän koko tuotantolinjan kullekin nopeudelle voidaan säätää käyntinopeutta.
- 4) Sähköinen ohjausjärjestelmä: Kosketusnäyttö ja PLC automaattinen ohjaus, ihmisen ja koneen välinen dialogi tietojen näyttöjärjestelmän saavuttamiseksi, toimintaparametrit ja ohjaustekniikka
- 1) Lopullinen tyhjiöpaine: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) keskimääräinen tuotantosykli: määritetyn tuotteen mukaan
- 3) Substraatin pidikkeen koko: voidaan räätälöidä vaatimusten mukaan
- 4) Kalvon tasaisuus: ± 3 % edistynyt mobiilikenttätekniikka on parantanut huomattavasti kohteen käyttöä
- Segmentoitu lämmitinsuunnittelu edistää prosessin optimointia.
Kirjoita viestisi tähän ja lähetä se meille
