Alumiininen peilin sisäinen magneettiruiskutuslinja
Pääpiirteet
- Alumiinipeiliin sisäinen Magnetron Sputtering Line on yleensä varustettu useilla tyhjiökammioilla lasilevyjen tyhjiöpinnoitteen viimeistelemiseksi.
- Pääpiirteet:
- 1.Max.lass pinnoitteen koko: 2440x3660mm tai räätälöity
- 2. Saatavilla on monityhjiökammiot ja monisputterointikammio
- 3. Vaakasuuntaisella magneettisella ohjauslinjalla on yksi- ja kaksipäärakenne;lasin kaksoispuhdistus, pinnoitus, tunnistus, maalaus, kuivaus, jäähdytys voidaan suorittaa kerralla
- 4. Sputterointipäällystyslinja käyttää PLC:tä koko prosessin ohjaukseen ja on varustettu värinäytöllä pinnoitusprosessin tietojen näyttämiseksi
Pinnoitekerros: titaani, kromi, ruostumaton teräs, alumiini, hopea, kupari jne.
- Yhdiste: TiN, TiO2 jne.
- Kerroksen paksuus: 5-100nm
- Lähetys: 8-40 % aallonpituuksilla 380-780 nm
- Laskeutumislämpötila: huoneenlämpötila
- Lopullinen paine 8 tunnin pumppauksen jälkeen:
- Sisääntulolukkokammio ja tyhjiökammio: 5×10-1 Pa tai vähemmän
- Puskurikammio 1: 3 × 10-3 Pa tai vähemmän
- Sputterointikammio: 2 × 10-3 Pa tai vähemmän
- Puskurikammio 2: 3 × 10-3 Pa tai vähemmän
- Ulostulolukkokammio ja tyhjiökammio: 5 × 10-1 Pa tai vähemmän
Kirjoita viestisi tähän ja lähetä se meille
