-Yksi/kaksi ovea
Runko ja kammio on valmistettu ruostumattomasta hiiliteräksestä.
Jokaisessa ovessa on tarkastusikkuna prosessin visuaalista valvontaa varten.Oven seinämissä on ruostumattomasta teräksestä valmistettu vuoraus, joka on helppo irrottaa huoltoa varten.
- Räätälöity tyhjiökammio
Kammiossa on ruostumattomasta teräksestä valmistetut sisävuoraukset, jotka on helppo irrottaa puhdistusta varten.
Pumput seisovat sen takaosassa.
Kammiossa on sarja pieniä laippaa mittaamista varten.
- Korkea tyhjiöpumppujärjestelmä
Diffuusiopumppu+tehostinpumppu+mekaaninen pumppu
- Tyhjiön mittaus ja ohjaus
Metallinen Pirani-mittari + metalli-ionisaatiomittari
- Kiinnitysten liikkuva järjestelmä
-PLC-ohjausyksikkö
-Alumiininen haihdutusjärjestelmä suuritehoisella muuntajalla
- Rautarunko
Rakenne on kohtuullinen
Kalvokerros on tasainen
Filminmuodostuslaatu
Suuri pumppausnopeus, lyhyt työjakso ja korkea tuotantotehokkuus
Toiminta on kätevää
Alhainen energiankulutus ja vakaa suorituskyky
Mallinumero | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Saatavana kaksiovinen tai kaksikammioinen malli | |
Tyhjiökammion mitat (halkaisija * korkeus) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Tyhjiökammion materiaali | Hiiliteräs, SUS304 tai SUS316L | ||||||
Työskentelyn tekniikka | tyhjiön kestävä haihdutus volframi- ja alumiinifilamenteilla, suuritehoinen haihdutusmuuntaja | ||||||
Pumppausjärjestelmä | Diffuusiopumppu+mekaaniset pumput, tehostinpumppu | ||||||
Pumppausaika | Ilmakehästä 5,0*10-2Pa alle 8 minuuttia | ||||||
Tyhjiön raja | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Työskentelylämpötila | Huonelämpötila | ||||||
Työtila | Automaattinen tai manuaalinen tila, 10,4 tuuman PLC kosketusnäyttö | ||||||
Kokonaisteho | 40-80 kW | 70-140 kW | |||||
Jalanjälki | 2*2 metriä | 2*3 metriä | 3*3 metriä | 3*3 metriä | 3*4 metriä | 4*5 metriä | 5*6 metriä |
Nämä yksiköt voit tehdä mittatilaustyönä | 1. Tyhjiökammion koko 2. Pumppujen kokoonpanot | ||||||
Valinnaiset instrumentit | 1. Vuotoilmaisin 3. Valokaari-ionipinnoitusjärjestelmä 4. Magntron-sputterointijärjestelmä |